SQ Fused Silica

Hoch-reines synthetisches Quarzglas

Die geschmolzenen, gekühlten und geschliffenen SQ Zylinder werden gemäß ausgewiesenen Mess- und Selektionsverfahren in verschiedene Qualitätsstufen unterteilt und können entsprechend der individuellen Kundenwünsche geliefert werden. So kann das synthetische Quarzglas im optischen Anwendungsspektrum von DUV bis NIR eingesetzt werden.

Ihre Vorteile auf einen Blick

  • Synthetisches Quarzglas SQ als geschliffener Zylinderabschnitt oder Halbzeug (Rundscheibe, Stab, Platte, Block, etc.) in fünf Qualitätsstufen hinsichtlich Homogenität, Schlierenfreiheit und Anwendungswellenlängen
  • Hohe Erzeugnisflexibilität (u.a. Stäbe, Rundscheiben, Platten, Blöcke, Prismen) aufgrund der Herstellungstechnologie
  • Einschluß- und blasenfreies synthetisches Quarzglas für die Laser- und Optikanwendung
  • Extrem niedrige Fluoreszenzneigung und sehr gute Laserbeständigkeit aufgrund des hohen OH- und H2- Gehalts
  • Lieferbar mit nachgewiesenen optischen Eigenschaften
    • Hohe Homogenität
    • Niedrige Spannungsdoppelbrechnung
    • Hohe Transmission @193 nm und @248 nm

Leistungsspektrum

Qualitätsstufen

(gemäß kundenspezifischer Anforderungen)
  • SQ0: 3D-Material, dass in jeder Funktionsrichtung frei von Schichtungen und Schlieren ist. Es wird für optische Komponenten mit mehreren Lichtrichtungen empfohlen: wie z. B. Prismen oder Linsen mit starker Krümmung.
  • SQ1: 1D-Material mit hoher Homogenität und in der Funktionsrichtung frei von Schichtungen und Schlieren. Beispiele typischer Anwendungen sind optische Elemente wie Linsen, Rundscheiben, Platten, Wafer und Stäbe / Faser.
  • SQT: Hinsichtlich Homogenität, Schichtungen und Schlieren nicht spezifiziert. Diese Gütestufe wird für technische Anwendungen empfohlen.
  • Excimergrade Quarzglas – lieferbar als SQ1 oder SQ0: Ausgezeichnete Transmission bei 193 nm /
    248 nm. Niedrigstes Niveau laserinduzierter Fluoreszenz (LIF)
    • SQ0-E193 / SQ1-E193 (ArF Excimergrade)
    • SQ0-E248 / SQ1-E248 (KrF Excimergrade)

Produkteigenschaften

Das besonders einschluss- und blasenfreie Material zeichnet sich vor allem durch seine hervorragenden optischen und physikalischen Eigenschaften aus:

  • Laserfestigkeit
  • Brechzahlhomogenität
  • Temperatur- und Temperaturwechselbeständigkeit
  • Geringe Spannungsdoppelbrechung
  • Niedrige thermische Ausdehnungskoeffizienten

Aufgrund des hohen OH- und H2-Gehaltes weist unser synthetisches Quarzglas SQ eine extrem niedrige Fluoreszenz und hohe Beständigkeit gegenüber energiereicher UV- und Laserstrahlung auf.

Bestelloptionen

  • Verschiedene Geometrien
  • 5 Qualitätsstufen
  • Oberflächenqualität bzw. -bearbeitung

Einsatzgebiete

  • Excimer-Laseroptiken und Strahlführungssysteme
  • DUV- und UV-Optikkomponenten
  • Optisches Material in der „linebeam-Technologie“ der OLED-Herstellung
  • UV-Stäbe, Preformen und optische Fasern
  • Laserfusion
  • Für Quarzglasgefäße und Sichtfenster in technischen Anwendungen
  • Lithografische und mikrolithografische Anwendungen: Stepperlinsen, Fotomasken, Wafer und Lithografieoptiken

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