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SQ Fused Silica

Hoch-reines synthetisches Quarzglas in fünf Qualitätsstufen

Beschreibung

SQ Fused Silica – insbesondere für die Herstellung von optischen und photonischen Geräten in den Märkten Faseroptik, Halbleiter- und Display-Technik sowie für optische Anwendungen und Laseranwendungen geeignet. Das besonders einschluss- und blasenfreie Material zeichnet sich vor allem durch seine hervorragenden optischen und physikalischen Eigenschaften aus:

  • Laserfestigkeit
  • Brechzahlhomogenität
  • Temperatur- und Temperaturwechselbeständigkeit
  • geringe Spannungsdoppelbrechung
  • niedrige thermische Ausdehnungskoeffizienten

Aufgrund des hohen OH- und H2-Gehaltes weist unser synthetisches Quarzglas SQ eine extrem niedrige Fluoreszenz und hohe Beständigkeit gegenüber energiereicher UV- und Laserstrahlung auf.

Anwendungen

  • Excimer-Laseroptiken und Strahlführungssysteme
  • DUV- und UV-Optikkomponenten
  • Standardoptiken (VIS und NIR)
  • UV-Stäbe, Preformen und optische Fasern
  • Laserfusion
  • Technische Anwendungen
    • Quarzglasgefäße, Sichtfenster
  • Lithografische und mikrolithografische Anwendungen
    • Stepperlinsen, Fotomasken, Wafer und Lithografieoptiken

Ausführung / Qualität

LEONI bietet die SQ Fused Silica als Ingot oder Halbzeug (Rundscheibe, Stab, Platte, Block, etc.) in fünf Qualitässtufen hinsichtlich Homogenität, Schlierenfreiheit und Anwendungswellenlängen an. Durch ausgewiesene Mess- und Selektionsverfahren werden die Qualitätsstufen an Ihre individuellen Kundenwünsche angepasst. So kann das synthetische Quarzglas im optischen Anwendungsspektrum von DUV bis NIR eingesetzt werden.

Qualitätsstufen (gemäß kundenspezifischer Anforderungen)

SQ0: 3D-Material, das in jeder Funktionsrichtung frei von Schichtungen und Schlieren ist. Es wird für optische Komponenten mit mehreren Lichtrichtungen empfohlen, wie z.B. Prismen und stark gekrümmten Linsen.

SQ1: Mit hoher Homogenität und in der Funktionsrichtung frei von Schichtungen und Schlieren. Beispiele typischer Anwendungen sind optische Elemente wie Linsen, Rundscheiben, Platten, Wafer und Stäbe / Fasern.

SQT: Hinsichtlich Homogenität, Schichtungen und Schlieren nicht spezifiziert. Diese Gütestufe wird für technische Anwendungen empfohlen.

Excimergrad Quarzglas – lieferbar als SQ1 oder SQ0: Ausgezeichnete Transmission bei 193 nm / 248 nm. Niedrigstes Niveau laserinduzierter Fluoreszenz (LIF).

  • SQ0-E193 / SQ1-E193 (ArF Excimergrad)
  • SQ0-E248 / SQ1-E248 (KrF Excimergrad)